桌面顯影機(jī)優(yōu)勢
1.全封閉式顯影,避免霧氣擴(kuò)散到外部,污染環(huán)境。
2.外殼噴塑,耐腐蝕,易清洗。
3.內(nèi)腔鍍特氟龍,光滑,耐腐蝕,易清洗。
4.內(nèi)置真空過濾器,防止液體吸入真空泵。
5.真空壓力可調(diào),壓力值實(shí)時顯示。
6.液體流量可調(diào),回吸可調(diào)。
桌面顯影機(jī)參數(shù)
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8"圓晶)
1.轉(zhuǎn)速分辨率:±1 RPM
2.旋涂速度:20-3000rpm(空載)
3.旋涂加速度:10-10,000rpm/sec(空載)
4.工藝時間設(shè)定: 0-3,000sec/step,時間設(shè)置精度: 0.1sec
5.該機(jī)型適用于標(biāo)準(zhǔn)3路顯影機(jī)(1路洗衣液,1路純水,1路氮?dú)?
6.單步工藝及多步工藝可選,內(nèi)置100組可編輯程序
7.可根據(jù)客戶需求定制四管路顯影機(jī)或更大基片的顯影機(jī)。
設(shè)備配有一路顯影和一路水、一路氣吹功能,并且噴嘴位置可程控移動,實(shí)現(xiàn)自動顯影和清洗作業(yè)。
桌面顯影機(jī)是一種用于制作電路板和印刷電路板的設(shè)備。它通過將光敏材料涂覆在基板上,再利用紫外線曝光和化學(xué)顯影的過程來形成圖案和電路追蹤。這種設(shè)備通常較小且易于操作,適用于小批量生產(chǎn)和研發(fā)實(shí)驗(yàn)室。桌面顯影機(jī)可以幫助制造商和電子工程師快速制作樣品和原型,并提供高精度和可重復(fù)性的輸出結(jié)果。