簡(jiǎn)要描述:實(shí)驗(yàn)室加熱型勻膠機(jī)。光刻膠等均勻涂布在晶圓上的裝置,一種納米膜噴涂設(shè)備。
產(chǎn)品參數(shù):
1.轉(zhuǎn)盤加熱控溫范圍:室溫-150℃
2.溫度分辨率:0.1℃
3.控溫精度:<±0.5℃(穩(wěn)定后控溫精度)
4.轉(zhuǎn)盤溫度均勻性:<±2%
5.轉(zhuǎn)速范圍:100-5000rpm
6.轉(zhuǎn)速分辨率:±1rpm
7.加速度可調(diào)范圍:100-5000rpm/s
8.最大單步旋涂時(shí)長(zhǎng):3000s
9.時(shí)間分辨率:0.1s
10.最多可編程100組100步程序,更多可擴(kuò)展
11.標(biāo)配可調(diào)卡爪載物盤(10-30mm方片或圓片可調(diào)),其他規(guī)格可定制
12.外型尺寸:280mm(W)*404mm(D)*270mm(H)
IC5000控溫勻膠機(jī)是一款高性能實(shí)驗(yàn)室勻膠機(jī),采用了*進(jìn)的設(shè)計(jì)理念,配合精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高精度、高均勻度的勻膠操作,并配有控溫系統(tǒng),控溫均勻性好,可實(shí)現(xiàn)邊加熱邊勻膠功能,操作界面可存貯10組程序,每組程序可達(dá)10步。運(yùn)行參數(shù)如轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)間可實(shí)時(shí)顯示。