國內(nèi)首條量子芯片生產(chǎn)線亮相央視 雷博科儀設(shè)備助力量子芯片光刻

在《流浪地球2》中，智能量子計(jì)算機(jī)MOSS作為隱藏的幕后黑手，讓擁有強(qiáng)大計(jì)算能力的量子計(jì)算機(jī)再一次成為熱點(diǎn)。MOSS并非純粹的科學(xué)幻想，現(xiàn)實(shí)中量子計(jì)算機(jī)的研究早已起步，并取得了實(shí)際成果。

我國在量子計(jì)算機(jī)領(lǐng)域走在世界前列。近幾年，“九章”“祖沖之號(hào)”量子計(jì)算機(jī)先后問世并完成升級(jí)，在超導(dǎo)量子系統(tǒng)、隨機(jī)線路采樣任務(wù)等方面實(shí)現(xiàn)了量子計(jì)算*性。而最新量子計(jì)算機(jī)“悟空”也即將在合肥本源量子的實(shí)驗(yàn)室問世，有望成為國內(nèi)頂尖的實(shí)用量子計(jì)算機(jī)。

近日，為“悟空”生產(chǎn)配套量子芯片——“悟空芯”的國內(nèi)首條量子芯片生產(chǎn)線通過央視直播展現(xiàn)在觀眾面前。據(jù)報(bào)道，該條產(chǎn)線于2022年1月投入運(yùn)營，在一年時(shí)間內(nèi)，陸續(xù)導(dǎo)入24臺(tái)量子芯片生產(chǎn)相關(guān)的工藝設(shè)備，孵化出了3套自研的量子芯片專用設(shè)備。其中，江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司（以下簡稱“雷博科儀”）研發(fā)的AC200-SE-CTM 自動(dòng)勻膠機(jī)和AC200-S-CTM自動(dòng)顯影機(jī)成為該條產(chǎn)線勻膠工藝和顯影工藝的專用設(shè)備。

 

 

量子芯片工作在-270℃左右的環(huán)境中，與普通芯片有較大區(qū)別，因此量子芯片的材料、生產(chǎn)工藝等也與普通芯片不同，這對(duì)生產(chǎn)設(shè)備提出了特殊的要求。該條產(chǎn)線所用的AC200-SE-CTM 自動(dòng)勻膠機(jī)和AC200-S-CTM自動(dòng)顯影機(jī)由雷博科儀為量子芯片生產(chǎn)專門定制。勻膠機(jī)為自動(dòng)擺臂與4路滴膠功能，顯影機(jī)則是擁有雙自動(dòng)擺臂、3路顯影、1路純水、1路氮?dú)獾墓δ?，可處?cm至8英寸晶圓。

 

自動(dòng)顯影機(jī)

 

 

自動(dòng)勻膠機(jī)

 

AC系列是雷博科儀旋涂薄膜制備類產(chǎn)品線的代表，應(yīng)用于量子芯片生產(chǎn)線的AC200衍生機(jī)采用模塊化設(shè)計(jì)，支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗等功能模塊個(gè)性化定制，可快速拆卸和替換原有功能模塊，操作便捷。同時(shí)AC200衍生機(jī)還配載了精密的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)，可提高實(shí)驗(yàn)精度及重復(fù)性。

 





勻膠和顯影是芯片生產(chǎn)核心工藝——光刻工序的重要步驟。光刻工序分為涂膠、曝光、顯影三大步驟，首先用勻膠機(jī)將光刻膠涂覆在晶圓表面，再用光刻機(jī)進(jìn)行曝光，然后利用顯影機(jī)進(jìn)行圖形顯影。勻膠和顯影直接影響光刻工序圖形的質(zhì)量，圖形質(zhì)量也對(duì)后續(xù)蝕刻和離子注入等工藝有著重要影響。雷博科儀成為國內(nèi)首條量子芯片生產(chǎn)線勻膠和顯影設(shè)備的提供者，不僅驗(yàn)證了其在涂膠顯影設(shè)備技術(shù)上的先進(jìn)性，也說明了國產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備已經(jīng)可以滿足部分高端芯片生產(chǎn)。

據(jù)了解，在晶圓加工領(lǐng)域，涂膠顯影設(shè)備主要被日本東京電子有限公司壟斷。除光刻機(jī)外，涂膠顯影設(shè)備的國產(chǎn)化替代也是國內(nèi)芯片產(chǎn)品發(fā)展的重要課題。目前，國產(chǎn)涂膠顯影設(shè)備廠商正在迎頭趕上，逐步打破進(jìn)口產(chǎn)品壟斷并填補(bǔ)國內(nèi)空白，雷博科儀也在為實(shí)現(xiàn)涂膠顯影設(shè)備的國產(chǎn)化替代而努力。在量子芯片生產(chǎn)線發(fā)光發(fā)熱的涂膠顯影設(shè)備，在普通芯片生產(chǎn)中也能夠提供令人滿意的成果。

為解決芯片的“卡脖子”問題，我國對(duì)國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)提供了政策、資金等多方面的大力支持。近年來，我國不僅在硅基芯片上，在光量子、超導(dǎo)量子、碳基芯片等新型芯片領(lǐng)域也接連實(shí)現(xiàn)重大突破，芯片產(chǎn)業(yè)的自立自強(qiáng)在逐步推進(jìn)。這是國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展時(shí)期，也是雷博科儀等芯片生產(chǎn)設(shè)備廠商的重要舞臺(tái)。助力國產(chǎn)芯片的發(fā)展，雷博科儀已做好準(zhǔn)備。