實(shí)驗(yàn)室噴金儀人性化設(shè)計(jì),儀器操作簡(jiǎn)單,一鍵鍍膜。儀器小巧,不占空間,適用于實(shí)驗(yàn)室、科研院所等。鍍膜均勻細(xì)密,適用于多種靶材,樣品臺(tái)可以快速調(diào)節(jié),方便取放樣品。儀器性能可靠,設(shè)有多重安全保護(hù)機(jī)制。
實(shí)驗(yàn)室噴金儀的使用技巧:
1、腔室一定要保持干凈!如果可以的話,不要在噴金儀的腔室中進(jìn)行蒸碳操作,最好用另一臺(tái)設(shè)備進(jìn)行蒸碳。(防止蒸碳污染濺射儀腔室)。
2、可以用熱肥皂水定期清潔腔室,并充分干燥。不建議使用試劑,這可能會(huì)影響健康安全。如果沉積物太頑固,可以考慮使用廚房百潔布(比如思高、3M、妙潔)。
3、可以使用異丙醇清洗金屬表面。但不要用丙酮,它不僅會(huì)影響健康安全,而且更難回姂干凈,會(huì)影響真空性能。
4、千萬(wàn)不要在沒(méi)有隔斷真空泵的情況下,讓濺射腔長(zhǎng)時(shí)間處于真空狀態(tài)。通常情況下,手動(dòng)操作閥門可以隔斷真空泵與腔室。如果沒(méi)有閥門隔斷,隔膜泵的泵油可能會(huì)回流,污染濺射腔室。
5、確保設(shè)備干燥。開始濺射前,設(shè)備要抽到要求的真空度。否則,會(huì)明顯影響濺射響效率,并帶來(lái)污染。
6、把機(jī)械泵固定在一個(gè)牢固的基臺(tái)上。并記得定期維護(hù)機(jī)械泵。
7、濺射氣體:請(qǐng)使用高純氬氣(>99.999%),這可以確保更快的濺射速率和更短的抽氣時(shí)間。
8、如果想在表面不規(guī)則的樣品上獲得均勻的濺射鍍層,最好使用行星式旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)。