直流冷陰極二極管型,靶材為常溫,負高壓1-3kv,陽極接地。當高壓打開時,陰極發(fā)射電子,電子能量增加到1-3kev,轟擊低真空(3-10pA)中的氣體使其電離。激發(fā)的電子在電場中加速,并繼續(xù)轟擊氣體以產(chǎn)生級聯(lián)電離,形成等離子體。離子以1-3kev的能量轟擊陰極靶。
當它們的能量高于目標原子的結合能時,目標原子或原子簇脫離目標并與等離子體中的殘余氣體碰撞。因此,它們有不同的方向。當它們落在樣品表面上時,它們可以在粗糙的樣品表面上形成厚度均勻的金屬膜,并且與樣品具有高的結合強度。如果腔室中的氣體繼續(xù)流動并且壓力保持恒定,則此時的離子電流保持恒定。高壓的功率決定了最大離子電流,其通常被限制以保護高壓電源。
離子濺射儀的系統(tǒng)特點:
1、內(nèi)置過電流和真空保護,當濺射電流過高或真空度差時自動中斷,非??煽亢桶踩?。
2、微調(diào)閥的靈敏度相當高,可以精確控制氣體流量。
3、目標組件采用翻蓋式設計,操作簡單方便。
4、內(nèi)置用戶指南和手冊,用戶操作非常方便。
5、離子濺射儀采用微處理器控制。它具有非常高的自動化程度,可以精確控制,并且易于操作。
6、5英寸彩色觸摸屏可實時顯示真空度、濺射電流、設定濺射時間、剩余濺射時間、膜厚估算等。
7、可濺射金、銀、銅、鉑等常見靶材。
8、可以實時顯示設備的運行時間和目標的使用時間,使設備更容易理解。