全自動離子濺射儀是一種緊湊的臺式涂層系統(tǒng),特別適用于掃描電子顯微鏡成像中非導(dǎo)電樣品的高質(zhì)量涂層。樣品的干燥和清潔是離子濺射涂層的基本要求。如有必要,應(yīng)在交換樣品和陰極的位置通過火花放電清潔樣品表面,然后在濺射涂層之前恢復(fù)樣品。鐵、鎳、銅和鉛常用作儀器的陰極材料。有時,電硬金、鉑、鈀、銦和其他金屬也可以用作陰極材料。
全自動離子濺射儀的使用說明:
1、一般來說,工作距離是可調(diào)節(jié)的。距離越近,濺射速度越快,但熱損傷會增加。
2、通過控制真空壓力來實現(xiàn)離子電流的大小。真空度越低,I越大,濺射速度越快,原子晶粒越粗,電子轟擊樣品(陽極)產(chǎn)生的熱量越高;真空度越高,I越小,濺射速度越慢,原子晶粒越小,電子轟擊樣品產(chǎn)生的熱量也小。
3、加速電壓固定可調(diào)。加速電壓越高,樣品的熱損傷越大。通常使用金屬靶的比例面積。
4、一些熱敏樣品需要在樣品區(qū)冷卻、水冷或珀爾帖冷卻;磁控器件也可以像電磁透鏡一樣用于偏轉(zhuǎn)樣品中的電子。當(dāng)然,在這種轉(zhuǎn)型之后,它將增加非常高的成本。你可以在蠟表面濺上一層金屬而不會造成任何損壞。
5、真空中的雜質(zhì)越多,涂層質(zhì)量越差。通常,金相對穩(wěn)定,空氣可以用作等離子體氣體源,而許多其他靶需要惰性氣體。
6、氣體的原子序數(shù)越高,動量越大,濺射速度越快,但顆粒會更厚,連續(xù)膜會更厚。
7、保持真空室的清潔對高質(zhì)量的涂層非常有益。
8、不要讓機械真空泵長時間保持極限真空,否則容易倒油。